Für die Erfassung von Partikeln mit einem Durchmesser von weniger als 100 nm ist die Messung des rückwärts gestreuten Lichtes (Streuwinkel größer 90°) notwendig.

Dies erfolgt bei der ANALYSETTE 22 NanoTec durch dafür speziell nahe der Messzelle platzierte Detektoren. Als Lichtquelle dient ein Halbleiter-Laser, dessen grünes Licht gleichzeitig auch für die Vermessung der Vorwärtsstreuung verwendet wird. Bei dem Design der Rückstreudetektoren wurde besonderes Augenmerk auf die Unterdrückung unerwünschter Signalanteile gelegt, die beispielsweise durch Reflexe an den Messzellengläsern entstehen.